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光敏型硅通孔聚合物绝缘材料
编号: 16050302
称号: 光敏型硅通孔聚合物绝缘材料
范畴: 材料迷信
成果情势:
投资额: 面议万
案例数:
技巧阶段: 研发阶段
协作方法:

筹划详述

本项目重要开辟面向三维硅通孔工艺的光敏型聚合物绝缘层材料以代替传统高本钱、低靠得住性的氧化硅工艺。光敏型硅通孔聚合物绝缘材料重要经过过程旋涂或许喷涂的工艺在硅通孔外部制备保形涂层,同时经过过程曝鲜明影完成通孔底部胶层的图案化和满足旌旗灯号从正面到后头的导通,最后采取高温固化工艺完成绝缘层的制备

技巧参数

光敏型硅通孔聚合物绝缘材料加工工艺(左上),光敏型硅通孔聚合物绝缘材料的平面曝鲜明影(左下)和光敏型硅通孔聚合物绝缘对TSV(Ar=2:1)的保形涂覆截面表示图(右,a,c,e 从wafer圆心到边沿,b,d,f 是缩小年夜照片

技巧优势

接洽方法

张蜜斯
13640929125
zhang.siyuan@xincailiao.com

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